目前光刻工艺所能处理的最小尺寸是多少？ 不要说中国的 全球的！ 谢谢！22nm吗？
发布网友
发布时间：2022-04-25 20:48
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热心网友
时间：2023-10-15 02:34
先说明光刻工艺定义为以曝光方式进行化学蚀刻，以全自动化设备在无尘的实验室内已经可做到5nm.量产为9nm.
