专利名称：一种测量金属微结构残余应力的方法专利类型：发明专利
发明人：杜立群,宋畅,罗磊,陶友胜,李庆峰申请号：CN201610538415.3申请日：20160708公开号：CN106248276A公开日：20161221
摘要：一种测量金属微结构残余应力的方法，属于微制造技术领域，涉及到金属微结构残余应力的测量方法。将具有拉曼活性的固体颗粒进行预处理，与电铸液混合形成悬浮液进行微电铸。将固体颗粒作为应力追踪信号，通过微拉曼光谱法进行金属微结构的残余应力测量。通过添加具有拉曼活性的固体颗粒与金属进行共沉积制备金属微结构，解决了X射线衍射法无法测量金属微结构残余应力的局限性，并扩大了微拉曼光谱法在测量残余应力方面的应用范围，具有应用范围广、简单、高效的特点，从而提高金属微器件的尺寸精度和制作成品率。
申请人：大连理工大学
地址：116024 辽宁省大连市凌工路2号
国籍：CN
代理机构：大连理工大学专利中心
代理人：梅洪玉
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