专利名称：一种具有保护气控制装置的直拉单晶炉专利类型：实用新型专利
发明人：任林生,李建帅,董卫昌,李广杰申请号：CN200620148936.X申请日：20061101公开号：CN200974872Y公开日：20071114
摘要：本实用新型涉及一种单晶生长中所用的具有保护气控制装置的直拉单晶炉。该具有保护气控制装置的直拉单晶炉包括石英坩埚、石墨坩埚、石墨加热器、石墨保温套筒、保温上盖、炉壁，在石墨保温套筒上部开有排气口，石墨保温套筒与炉壁之间有可排废气的空隙通道，空隙通道的上部与石墨保温套筒上部的排气口相连通，空隙通道的下部与炉壁下部的抽气口连通；在石墨加热器和晶体之间有辐射隔绝导流筒。本实用新型增加了保护气体的强制对流和改善了保护气体的流经路线，避免了保护气体的一氧化硅颗粒和石墨加热器、石墨坩埚等配件的反应，增加了石墨加热器等配件使用寿命。
申请人：新疆新能源股份有限公司
地址：830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市高新区长春路18号
国籍：CN
代理机构：北京天昊联合知识产权代理有限公司
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